爱德华真空泵配件-明胜机电(在线咨询)-石湾爱德华真空泵

半导体加工我们继续---技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的---拥有成本要求。

所有居于---的制程工具 oem，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，爱德华真空泵e2m40，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，石湾爱德华真空泵，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷即晶圆的图案形成是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，爱德华真空泵e2m175，但远紫外 (euv) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。edward可以让您有效应对这两种应用。

euv 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，因为轻型 euv 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 ---性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于---系统的精密性 和长正常运行时间---。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上实现真空。我们的 stp 系列 tmp 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。

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爱德华过滤器主要作用：真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的一种油过滤装置，主要过滤颗

粒杂质粉尘，保持真空泵油，提高真空泵使用寿命。

edward爱德华半导体、平板显示器、led 和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制

药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术。 这些泵结

构紧凑，使用时非常安静，具备---的润滑回路，---性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需

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