爱德华真空泵中国代理服务介绍「明胜机电」

em 系列泵是结实-的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr30 到 206 cfm。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备-的润滑回路，-性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。(注：使用环境比较-要经常观察泵油颜色3、检查油位镜，当泵油变成黄褐色转入黑色或变成乳白色，需要更换真空泵油。 edwards e2m80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 e2m80 油封式旋片真空泵 edwards真空泵

化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用-之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。5m3h-1200m3h-1341m3h-1540m3h-1793m3h-1抽速*80m3h-1180m3h-1250m3h-1380m3h-1560m3h-1-压力<。

干泵选择

cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能-粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以-泵在应力下保持 旋转。工作温度较高，磨损较-和加工较粗糙的摩擦表面，应选用黏度较大的真空泵油低速重负荷条件下工作的泵浦，应选用黏度较大的真空泵油冬季工作的摩擦零件，应选用黏度下和凝固点滴的真空泵油，而夏天应选用黏度大的真空泵油。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要-可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以-避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。

设备的参数相同，但是真空泵内在的技术不一样，所以-性还有噪音震动，这些方面的数据也都会存在差异，我们作出选择的过程中，尽量的去选择那些-性更高，噪声-，震动更小的设备应用的过程中，才能够给我们带来了更多的保障，如果设备内在的技术不成熟，使用的过程中存在着各种问题，那么不仅会对周围的环境带来影响，也会给我们造成不利的问题发生，因此大家应该正确的去认识。爱德华真空泵维修保养要求运行中的维护各部件必须在润滑油的润滑下运行。